硅压力传感器的可靠性强化试验  

作　　者：于丽娜[1] 秦丽[1] 张会新[1] 

机构地区：[1]中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原030051

出　　处：《化工自动化及仪表》2011年第7期906-908,共3页Control and Instruments in Chemical Industry

基　　金：山西省自然科学基金(2010011026-2)

摘　　要：对硅压力传感器进行可靠性强化试验,并分析压阻式压力传感器的失效模式和失效机理。

关 键 词：可靠性强化 步进应力试验 可靠性评估 随机振动 

分 类 号：TP7[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]