Alicat MCV质量流量控制器  

出　　处：《传感器世界》2011年第8期41-41,共1页Sensor World

摘　　要：美围AlicatScientific的MCV质量流量控制器提供了在真空喷涂和喷溅过程中所需的严密的截止参数，以保持产品的严密性。其集成的气动截止阀是常闭的，保证一个大气压下氦气最大泄漏为1＊10^-9下阀门的有效关闭。

关 键 词：质量流量控制器 MCV 气动截止阀 真空喷涂 严密性 大气压 

分 类 号：X851[环境科学与工程—环境工程]