Sol-gel法制备CaSiO_3基LTCC陶瓷  

Quantitative Analysis of Crystalline Phases in Wollastonite Ceramics by Rietveld Method and Peak Separation Method

作　　者：何茗[1,2] 张树人[1] 张婷[3] 巫从平[2] 饶文红[4] 

机构地区：[1]电子科技大学微电子与固体电子学院,成都610054 [2]成都电子机械高等专科学校通信工程系,成都610071 [3]成都医学院人文信息管理学院,成都610081 [4]成都电子机械高等专科学校电气与电子工程系,成都610071

出　　处：《成都电子机械高等专科学校学报》2011年第3期11-14,共4页Journal of Chengdu Electromechanical College

基　　金：四川省教育厅基金项目"典型高温电介质复合材料介电特性研究"(09ZC029)

摘　　要：采用溶胶凝胶法(Sol-gel)制备了CaSiO3基低温共烧陶瓷,在800℃、825℃、850℃、875℃下烧结,并对烧结样品进行了热重—差热分析、X射线扫描分析、扫描电子显微镜形貌分析。测试了在烧结温度为800℃、825℃、850℃、875℃下各样品的烧结密度和介电性能。结果表明Sol-gel法制备的CaSiO3基低温共烧陶瓷含有大量的CaSiO3晶相与少量的CaB2O4晶相,最佳烧结温度为850℃。在烧结温度为850℃时,CaSiO3基低温共烧陶瓷的烧结密度ρ=2.60 g/cm3,介电性能εr=5.86,tanδ=0.46×10-4。CaSiO3 based low temperature co-fired ceramics （LTCC） were prepared by Sol-gel method and sintered at the temperature of 800℃, 825℃, 850℃, and 875℃ in this paper. The sintered samples were tested using thermogravimetry-differential thermal analyzer, X-ray scanner, and scanning electron microscope. The results show that CaSiO3-based LTCC prepared with sol-gel process contain a lot of CaSiO3 phase and little CaB204 phase, and the best sintering temperature is 850℃. At the sintering temperature of 850 ℃, CaSiO3-based LTCC have a sintering density p = 2.60 g/cm^3, and dielectric properties εr = 5.86, tanδ = 0.46 x 10^-4

关 键 词：溶胶-凝胶 烧结 介电 

分 类 号：TG171[金属学及工艺—金属表面处理]