复合结构静电感应晶体管的终端造型  

作　　者：朱筠[1] 李思渊[2] 

机构地区：[1]西安邮电学院电子工程学院,陕西西安710121 [2]兰州大学微电子研究所,甘肃兰州730000

出　　处：《科技视界》2011年第23期16-18,共3页Science & Technology Vision

基　　金：甘肃省攻关项目(GS012.A52-064)

摘　　要：为了克服几何形状(曲率效应)造成的边角电场对平面扩散结击穿性能的劣化效应,对应于静电感应器件的复合结构,采用限场环与切断环作为终端造型,使结边界处的耗尽层宽度反窄化效应而展宽,以分散电力线并降低表面电场。

关 键 词：复合结构SIT 限场环 切断环 

分 类 号：TN386.7[电子电信—物理电子学]