透射电子显微镜高压电源箱气体绝缘技术及充气工艺  

The TEM high-voltage power box insulation technology and the inflatable technology

作　　者：董全林[1] 于成交[1] 袁水平[1] 杨彦杰[1] 张春熹[1] 姚骏恩[1] 许春兰[2] 王爱民 

机构地区：[1]北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室,仪器科学与光电工程学院,北京100191 [2]北京电子科技职业学院,北京100036 [3]国营红峰机械厂,湖北孝感432000

出　　处：《电子显微学报》2011年第4期455-459,共5页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基　　金：国家科技支撑计划课题(2006BAK03A24)

摘　　要：本文通过比较高压系统常用气态绝缘介质的性能,对比影响气体绝缘性能的关键参数,给出了透射电子显微镜高压电源箱绝缘材料的优化选择,介绍了六氟化硫(SF6)气体在透射电子显微镜高压电源绝缘中的应用,计算了充SF6绝缘气体的高压电源箱,并给出了透射电子显微镜高压箱的绝缘充SF6气体工艺。The article gives Optimization of insulation material for transmission electron microscopy（TEM） high-voltage power box,by comparing the performance of commonly used gaseous insulation medium,and by comparing the performance of the key parameters of gas-insulated,it also introduced the application of SF6 in Insulation for TEM high-voltage power supply,and calculated high-voltage power box filling gas SF6,and introduced the filling SF6 gas technology of transmission electron microscopy（TEM）high-voltage power box,which is used for insulation.

关 键 词：透射电子显微镜 高压电源 绝缘气体 SF6 充气工艺 

分 类 号：TB43[一般工业技术]