基于ISO10110-5的波面分解研究  

作　　者：赵兵[1] 

机构地区：[1]解放军理工大学通信工程学院

出　　处：《科技信息》2011年第30期110-111,共2页Science & Technology Information

摘　　要：本文研究了ISO10110-5表面面形评价参数的算法,建立了与ISO10110-5相应的数字波面分解模型;运用自编的波面拟合程序,完成了泽尼克系数、赛德像差系数、峰谷值、均方根值等常用评价参数和ISO10110-5中提出的弧矢误差、不规则误差、旋转对称不规则误差等参数的计算;通过对同一组波面数据的分析比较,自编程序的计算结果与ZYGO干涉仪的输出结果相一致。

关 键 词：ISO10110—5 面形评价 波面分解 

分 类 号：TP274.2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]