半导体气体传感器新近发展动态  被引量:2

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作  者:吴雄[1] 

机构地区:[1]西北工业大学材料系

出  处:《仪表材料》1990年第2期79-83,共5页

基  金:国家自然科学基金资助项目

摘  要:本文简要介绍了国内外半导体气体传感器的生产情况,评述了半导体气体传感器目前发展动向。认为超微粒技术、L-B 膜技术对促进气敏技术很有意义。本文还强调气敏基础研究的重要性,提出从表面和催化伪度出发研究气敏材料是有意义的,并讨论了催化和气敏的关系。

关 键 词:半导体传感器 气体传感器 发展 

分 类 号:TP212-13[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

 

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