基于图像配准的原子力显微镜图像热漂移失真校正  

Using image registration method to correct AFM image distortion induced by thermal drift

作　　者：龙飞[1] 王春梅[1] 孙洁林[1] 胡钧[1,2] 

机构地区：[1]上海交通大学生命科学技术学院,上海200240 [2]中国科学院上海应用物理研究所,上海201800

出　　处：《核技术》2011年第11期877-880,共4页Nuclear Techniques

基　　金：科技部重大科学研究计划(2007CB936000);国家自然科学基金项目(11074168)资助

摘　　要：在室温大气环境中,原子力显微镜(AFM)的热漂移会影响扫描过程中针尖定位的精度,导致扫描图像的失真,从而增大基于AFM图像的二维测量的误差。针对这种失真,在图像配准方法的基础上提出了热漂移补偿方法,通过建立热漂移的线性模型,校正扫描的AFM图像,从而恢复样品的真实形貌,有效提高了AFM图像二维平面内的测量准确性。Under ambient conditions, thermal drift would limit positioning precision of an AFM tip, resulting in distortion of the scanned image. To remove this kind of imaging error, we developed a thermal drift compensation method based on image registration techniques. The image distortion can be efficiently removed, and the sample topography can be truly restored.

关 键 词：原子力显微镜 热漂移 图像校正 

分 类 号：TP751.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]