光学传感、传感器  

出　　处：《中国光学》2008年第2期73-74,共2页Chinese Optics

关 键 词：位置敏感探测器 莫尔条纹 正交性误差 光电工程 波前重构 多孔硅微腔 光学传感器 线性度 灵敏度 正弦信号 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]