功率谱密度(PSD)在评价超精密光学表面中的应用研究  

Application of Power Spectral Density to Specify Optical Super-precision Surface

作　　者：刘耀红[1] 滕霖[1] 李大琪[1] 张萧 

机构地区：[1]飞行自动控制研究所,西安710065

出　　处：《航空精密制造技术》2006年第2期1-3,共3页Aviation Precision Manufacturing Technology

摘　　要：用原子力显微镜对不同工艺下获得的超光滑反射镜基片进行了功率谱密度(PSD)检测,并对结果进行分析,以指导光学元件加工。using an atomic force microscope,the super-smooth mirror substrate was measured,the result of the measurement to instruct the fabrication of optical components was analyzed.

关 键 词：功率谱密度 超精密光学元件 原子力显微镜 反射镜基片 

分 类 号：TH74[机械工程—光学工程]