检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
出 处:《中国金属通报》2000年第13期22-25,共2页China Metal Bulletin
摘 要:铝或铝合金溅射靶本发明的目的是提供能够抑制突发性粒子产生的高纯度铝或高纯度铝合金溅射靶中的夹杂物,特别是氧化物为产生粒子的主要原因,而且,粗略的分布于靶中的石墨。
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