其它应用  

出　　处：《中国光学》2000年第5期41-42,共2页Chinese Optics

摘　　要：TN249 2000053258新型a-Si:H三脉冲准分子激光晶化法的研究=Researchon a novel triple pulse excimer lasercrystallization method of a—Si:H[刊,中]/吴春亚,张建军,耿新华,孙钟林(南开大学光电子薄膜器件与技术所.天津(300071))//电子学报.—1999。

关 键 词：等离子体发射光谱 准分子激光 飞行时间质谱仪 晶化法 电子束 脉冲激光 薄膜器件 硅团簇 脉冲强激光 光电子枪 

分 类 号：TN249[电子电信—物理电子学]