电子显微镜真空系统常见故障及对策  

作　　者：朱宇[1] 

机构地区：[1]内蒙古大学实验测试中心

出　　处：《内蒙古石油化工》2000年第4期118-119,共2页Inner Mongolia Petrochemical Industry

关 键 词：电子显微镜 真空系统 常见故障 扩散泵 机械泵 真空管道 阀门 镜筒 电磁阀 检测系统 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]