DDI METHOD FOR MEASURING OPTICAL CONSTANTS OF THIN FILMS  

作　　者：谷晋骐[1] 郑永星[1] 

机构地区：[1]天津大学应用物理系

出　　处：《Transactions of Tianjin University》1997年第1期93-96,共4页天津大学学报（英文版）

摘　　要：By double beam and double wave interferomatric (DDI) method, the optical constants of thin films, i.e. refractive index, extinction coefficient and thickness may be determined in infrared (3.39 μm) and in visible (0.633 μm) wavelengths in the same optical path with a tunable double wave He Ne laser designed by ourselves. The measuring principle and the device are describod.双光束双波长激光干涉（ＤＤＩ）法采用自行设计的可测双波长氦氖激光器作光源，可在同一光路中通过二次测量获得薄膜样品两个波长（０．６３３μｍ，３．３９μｍ）下的光学常数，即折射率、消光系数和厚度，文中论述了调量原理、测量装置和测量结果．

关 键 词：DDI thin film optical constant 

分 类 号：O484.41[理学—固体物理]