一种nm级超精密镜面磨削的微进给工作台  

作　　者：张飞虎[1] 张春河[1] 王平[1] 韩荣久[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学,中国科学院长春光学精密机械研究所

出　　处：《仪器仪表学报》1996年第S1期388-388,共1页Chinese Journal of Scientific Instrument

摘　　要：一种ｎｍ级超精密镜面磨削的微进给工作台张飞虎，张春河，王平，韩荣久（哈尔滨工业大学）（中国科学院长春光学精密机械研究所）用超微细粒度的超硬磨料砂轮进行超精密镜面磨削加工，是对难以用金刚石车刀进行超精密车削的材料如工程陶瓷、光学玻璃、半导体基片等进行超...

关 键 词：微进给 镜面磨削 超精密加工 工作台 超精密磨削 超精密车削 微量进给机构 工程陶瓷 金刚石车刀 位置分辨率 

分 类 号：TG705[金属学及工艺—刀具与模具]