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作 者:翁立军[1] 孙晓军[1] 汪晓萍[1] 李陇旭[1] 孙嘉奕[1] 于德洋[1]
机构地区:[1]中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室
出 处:《空间科学学报》1996年第S1期60-65,共6页Chinese Journal of Space Science
基 金:国家自然科学基金
摘 要:MOS2溅射薄膜是空间机械应用最广的润滑薄膜材料之一,但其在潮湿空气中却存在着润滑性能退化甚至失效的问题.作者依据基础研究及使用要求,研制出新型射频共溅射MOS2基(MOS2-4)薄膜.结果表明,MOS2-4共溅射薄膜具有良好的摩擦学特性和耐潮湿性能.与MoS2溅射薄膜比较,其在真空环境中的耐磨寿命提高4倍以上.多组元之间的协同效应是使薄膜性能大幅度改善的根本原因.The MoS2 sputtered films are widely used for space mechanism, but their tribological behavior would degrade and fail after storage in the moist air for a certainperiod. In this paperl new MoS2-based cosputtered films (MoS2-4) are studied. Theresults show that the MoS2-4 films exhibit good tribological behavior after storagein moist air for a period of time. The wear endurance of MoSZ--4 films is 4 timesmore than that of MoS2 sputtered films in vacuum. The multicomponent synergisticeffect extensively improve the tribological behavior of MoS2-4 films.
关 键 词:MoS2基共溅射薄膜 真空 摩擦学性能 耐湿热性能 协同效应
分 类 号:TG174.44[金属学及工艺—金属表面处理]
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