超轻负荷触针式表面测量仪  

作　　者：周菊芳 

出　　处：《航空精密制造技术》1993年第5期11-11,共1页Aviation Precision Manufacturing Technology

摘　　要：日本NTT电子应用研究所开发了一种超轻负荷触针式表面测量仪(CPM),它与一般此类测量仪相比较,触针尖端半径减小到数十分之一,负荷减轻了3位数,试件由与STM(扫描隧道显微镜)相同的三向压电元件来驱动,试件表面与安装在平行支撑的弹簧片上的触针相接触.支撑弹簧片的挠曲量用光学测头检出。

关 键 词：表面测量 轻负荷 弹簧片 扫描隧道显微镜 压电元件 应用研究所 测头 仪相 横向分辨率 纵向分辨率 

分 类 号：V26[航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]