用白光条纹测量膜厚  

作　　者：P.K.Mohanty P.N.Puntambekar D.Sen 钟国林 

出　　处：《应用光学》1990年第3期56-58,共3页Journal of Applied Optics

摘　　要：阐述一种利用双通迈克尔逊干涉仪得到的白光条纹测量薄膜厚度的方法。这种方法适合测量15nm到2500nm范围内的厚度。

关 键 词：白光条纹 迈克尔逊干涉仪 条纹图 薄膜厚度 干涉条纹 光程差 后向反射器 相干长度 干涉图 反射光 

分 类 号：O439[机械工程—光学工程]