微电子行业中的设备维修管理  

作　　者：李天鹏 

机构地区：[1]江阴新顺微电子有限公司,江苏省江阴市214431

出　　处：《中国科技信息》2011年第24期113-113,共1页China Science and Technology Information

摘　　要：本文阐述了设备维修管理的一些基本理论知识,提出微电子行业生产线对待不同设备根据不同情况选择适合自身情况的维修管理方式。

关 键 词：维修 设备管理 事后维修 预防维修 修正性改进维修 维修定位 设备点检法 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学] TP278[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]