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机构地区:[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院航空光学成像与测量重点实验室,吉林长春130033 [2]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033
出 处:《光学精密工程》2011年第12期2947-2953,共7页Optics and Precision Engineering
基 金:武器装备预研基金资助项目(No.51460040104ZK1001)
摘 要:为了提高钢圈反射式光栅的测量精度,设计了光栅信号补偿系统,分别对光栅信号的幅值、直流电平和相位进行了补偿,补偿后两路光栅信号的正交性得到了改善。首先,根据钢圈反射式光栅提取信号的方式建立光栅信号电子学处理系统。然后,分别从幅值、直流电平和相位等3方面提出系统的补偿算法。以8 192lp/mm的钢圈反射式光栅为平台,以实际的精度检测结果为评判依据,对提出的信号补偿系统进行了实验验证。结果表明,补偿后的光栅精度比补偿前提高了2.28″,提高幅度达到50%。实验结果验证了光栅信号补偿方案的可行性。In order to improve the measuring accuracy of a steel ring reflective grating,a grating signal compensation system is designed.The system is used to compensate the signal amplitude,DC voltage and the phase of the grating,respectively,for which two grating signals have a better orthogonality.First,according to the sampling method for steel ring reflective grating signals,an electronic processing system is created.And then several compensation algorithms are established aiming at the signal amplitude,DC voltage and the phase.By taking the steel ring reflective grating with 8 192 lp/mm as a platform and the results of testing precision as a basis of adjudication,the proposed signal compensation system is verified.The results show that the precision compensated has been improved by 2.28″ with an increasing magnitude of 50%.Obtained results prove that the signal compensation system is feasible.
关 键 词:钢圈式编码器 反射式光栅 传感器 Lissajou图 信号补偿
分 类 号:TP212.12[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN762[自动化与计算机技术—控制科学与工程]
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