微传感器表面温度非接触测试及In2O3微传感器气敏特性的研究  

The Research of Non-Contact Surface Temperature Test and Sensitive Properties of In_2O_3 Micro Sensors

作　　者：马晓康[1] 丛慧[1] 穆仁[1] 范会涛[1] 杨卉[1] 祈明锋 张小水[1,2] 张彤[1,2] 

机构地区：[1]吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室,长春130012 [2]河南汉威电子股份有限公司,郑州450001

出　　处：《传感技术学报》2011年第12期1668-1671,共4页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：国家自然科学基金项目(51102109)

摘　　要：基于"相同温度下同一物体所产生的辐射功率相同"这一原理,搭建了一套非接触式微小芯片表面工作温度的测试平台。利用该平台对汉威电子出品的一种平面陶瓷基微气体传感器衬底的表面工作温度进行了测试,明确了其表面温度与加热电流之间的关系及芯片表面工作温度分布图。在此基础上,确定了In2O3纳米纤维的最佳工作温度,研究了最佳工作温度下In2O3纳米纤维酒精传感器的气敏特性,验证了测温方法的有效性。该方法可进一步推广应用到其他微结构或者MEMS器件的表面温度的测量。A non-contact temperature measurement platform was introduced to measure operating temperature of tiny chips according to the theory about the same radiated power for a certain object at the same temperature.On this platform,the relationship between surface temperature and operating current and temperature contours of a micro planar-ceramic sensor（Hanwei Electronics Co.,Ltd.）was defined.On this base,the optimum operating temperature of In2O3 nanofibers was determined.The sensitive properties of In2O3 sensor were studied at this optimum operating temperature to verify the validity of the temperature measurement system.This method can further extend to the surface temperature measurement of other micro-structure or MEMS devices.

关 键 词：微气体传感器 非接触测温 热辐射 温度分布 三氧化二铟 

分 类 号：TP212.2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN219[自动化与计算机技术—控制科学与工程]