加载控制模式对电沉积镍薄膜力学性能测试的影响  

The effect of control modules in determining mechanical properties of electrodeposited nickel films by indentation

作　　者：赵冠湘[1] 黄勇力[2,3] 马增胜[2,3] 周益春[2,3] 

机构地区：[1]湖南科技大学物理学院,湖南湘潭411201 [2]湘潭大学低维材料及其应用技术教育部重点实验室,湖南湘潭411105 [3]湘潭大学材料与光电物理学院,湖南湘潭411105

出　　处：《湖南科技大学学报（自然科学版）》2011年第4期22-25,共4页Journal of Hunan University of Science And Technology：Natural Science Edition

基　　金：湖南省教育厅科研项目(07C277)

摘　　要：为研究深度和载荷2种加载控制模式对样品硬度和杨氏模量测试结果的影响,选取了厚度为6μm的电沉积镍薄膜为样品,采用美国Hysitron公司生产的TriboIndenter型压痕仪进行压痕试验.结果表明:因薄膜和基底2种材料的性能相差较大,随着压痕深度的增加,基底效应越来越明显;载荷控制模式下所测的硬度和杨氏模量较深度控制模式的都要大,且两性能参数中因应力松弛效应的影响硬度差别更为明显.Under displacement and load control modules, indentation tests were performed, which on the 6 μm electrodeposited nickel films, to study the effect of control module in determining the hardness and Young＇ s modulus. The results indicate that the substrate effect becomes obvious with increasing indentation depth, both the hardness and Young＇ s modulus tested under load control module are bigger than that under displacement control module, and the hardness is of bigger change than the Young＇ s modulus because of the stress relaxation.

关 键 词：电沉积镍薄膜 压痕 加载控制模式 硬度 杨氏模量 

分 类 号：O345[理学—固体力学]