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作 者:曹连静[1] 孙玉利[1] 左敦稳[1] 祝晓亮[1] 张国家[1] 史晨红[1]
机构地区:[1]南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016
出 处:《机械制造与自动化》2011年第6期12-14,26,共4页Machine Building & Automation
基 金:国家大学生创新性实验计划项目(No.101028721);南京航空航天大学研究生创新基地开放基金(No.201001014);南京航空航天大学基本科研业务费专项科研项目(No.NS2010134)
摘 要:采用无机电介质六偏磷酸钠(SHP),非离子型表面活性剂聚乙二醇(PEG400),阳离子型表面活性剂十六烷基三甲基氯化铵(CATC),阴离子型表面活性剂十二烷基苯磺酸钠(SD-BS)作为分散剂,研究纳米α-Al2O3在水相介质中的分散稳定性。系统研究了分散剂质量分数、分散剂种类、pH值以及超声时间对于纳米α-Al2O3在水相介质中的分散性能的影响。结果表明,分散剂的质量分数对于分散体系稳定性影响最大,每一种分散剂都有其最佳值。随着超声时间的增加,分散体系稳定性呈先增后减的趋势。选用SDBS作为分散剂,分散剂质量分数为2.0%,pH=9,超声时间为20 min时纳米α-Al2O3在水相介质中的分散稳定性最好。This paper uses sodium hexametaphosphate ( SHP ), polyethyleneglycol ( PEG400 ), cetyltrimethylammonium chloride (CTAC) and sodium dodecyl benzene sulfonate(SDBS) as surfactants to make a study of dispersion of α-Al2O3 nano-powders in water suspension. The influence of supersonic time, pH value and surfactant concentration on the stability of α-Al2O3 suspension is systematically studied. The results show that mass fraction of surfactant has the greatest influence on the stability of the suspension. The dispersion stability of α-Al2O3 water suspension is the first to be increased to a maximum and the tast to be decreased with the increase of ultrasonic time. SDBS is the best one among the four kinds of surfactants in the experiments,the optimal dispersing condition is 2.0% in mass percent of SDBS and pH value is 9, ultrasonic time is 20 min.
关 键 词:化学机械抛光(CMP) 纳米Α-AL2O3 分散剂 分散体系稳定性 水相体系
分 类 号:TH16[机械工程—机械制造及自动化] TB383[一般工业技术—材料科学与工程]
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