薄膜厚度测试方法的比较  

Comparison of Thin Film Thickness Measuring Methods

作　　者：石丽芬[1] 单传丽[1] 陈琼[1] 

机构地区：[1]中国建材国际工程集团有限公司,安徽蚌埠233010

出　　处：《中国玻璃》2011年第6期3-6,共4页China Glass

摘　　要：在透明导电膜的制备、分析和应用中，薄膜厚度是否均匀是检测薄膜各项性能的基础，因而准确测量和控制薄膜厚度是极为重要的。本文总结亍薄膜厚度的常用测试方法并进行了简要的介绍，分析比较了各自的特点及存在的问题。During preparing, analyzing and applying transparent conductive film, the even thickness is the foundation of inspecting its properties, so precisely measuring and controlling its thickness is extremely important. This paper summarizes common measuring methods and analyzes ＆ compares their characteristics and shortages respectively.

关 键 词：薄膜厚度 探针法 光谱测量法 扫描电子显微镜(SEM)法 

分 类 号：TN304.21[电子电信—物理电子学]