全自动单晶炉控制系统方案设计  

Automatic Crystal Growth Equipment Control System Design

作　　者：王庆[1,2] 张婷曼[3] 

机构地区：[1]西安理工晶体科技有限公司,陕西西安710077 [2]西安理工大学,陕西西安710048 [3]延安大学西安创新学院,陕西西安710100

出　　处：《电子工业专用设备》2011年第12期5-8,11,共5页Equipment for Electronic Products Manufacturing

基　　金：国家科技重大专项;"极大规模集成电路制造设备及成套工艺"(2009ZX02011)

摘　　要：利用通用可编程控制器(PLC)、结合倍福(Beckhoff)智能端子作为控制和信号处理核心,以大尺寸触摸屏构成友好的人机界面。选用先进CCD测量元件及辅助液面测温等,通过工业现场总线加以太网完成整个系统的通讯及控制。This design approach： using of general-purpose programmable logic controller（PLC）,controlling and signal processing core by Beckhoff intelligent terminals,forming large-size touch screen friendly interface.carefully selecting advanced CCD measurement components and auxiliary surface temperature,etc.,completed of communication and control system through industrial field bus and Ethernet.

关 键 词：单晶炉控制系统 可编程控制器(PLC) 倍福(Beckhoff)智能端子 

分 类 号：TF806.9[冶金工程—有色金属冶金]