真空微电子技术  

作　　者：横尾邦義 

机构地区：[1]东北大学电讯研究所(日)

出　　处：《真空电子技术》1990年第1期29-32,共4页Vacuum Electronics

摘　　要：近年来,利用半导体技术,制造集成化的微米尺寸的微型真空管(亦称为真空IC)的愿望越来越强烈,与此趋势相呼应,1988年6月,在美国召开了第一届真空微电子学国际会议。本文即是以此次会议报告的内容为中心,介绍了真空微电子学的发展动向。

关 键 词：真空 微电子技术 真空IC 

分 类 号：TN1[电子电信—物理电子学]