硅微麦克风探测模块辐射性能研究  

作　　者：左夏茂[1] 赵立宏[2] 邓骞[1] 王健[3] 

机构地区：[1]南华大学机械工程学院,湖南衡阳421001 [2]南华大学电气工程学院,湖南衡阳421001 [3]南华大学核技术与核科学学院,湖南衡阳421001

出　　处：《机电信息》2012年第3期134-135,共2页

摘　　要：针对硅微机械电容式麦克风测试模块元器件的材料、结构、表面处理等方面进行了核辐照损伤分析,并对此探测模块在核辐照条件下做测试实验,测试数据分析表明,该硅微机械电容式麦克风探测模块防辐照效果明显,能够满足在高辐照条件下的使用要求。

关 键 词：硅微机械电容式麦克风 抗辐照特性 研究 

分 类 号：TN643[电子电信—电路与系统] TP274[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]