用电容式传感器测量微小振幅时的距离补偿  

作　　者：伊藤晴夫 菊池清明 铃木昭 孔合平 

机构地区：[1]上海交通大学

出　　处：《振动．测试与诊断》1990年第1期56-61,共6页Journal of Vibration,Measurement & Diagnosis

摘　　要：用电容式传感器测量振幅有一个缺点,就是测量灵敏度会随着传感器探头与振动体之间的距离(lift-off)而变化。本文描述一种适用于工业测量、振幅范围为1～l00mμ的测量装置。为使灵敏度不随距离变化,对振动体和传感器探头提供了串联的两种电源。一种是直流电源,另一种是交流(高频)电源。通过低通和高通滤波器把最后合成信号分离成两个信号。低频成分(eoL)与振幅成正比,而与距离的平方成反比;高频成分(eoH)与距离成反比。通过在电路上进行的运算,就可实现距离补偿。当传感器探头有效面积为4.11mm^2时,对距离从0.2mm到2.0mm进行补偿后可以使误差小于5％。

关 键 词：传感器 测量 振幅 距离补偿 电容式 

分 类 号：O329[理学—一般力学与力学基础]