透明导电氧化物薄膜研究现状与产业化进展  

作　　者：赵谢群[1] 

机构地区：[1]北京有色金属研究总院,北京100088

出　　处：《电子元件与材料》2000年第1期40-41,共2页Electronic Components And Materials

摘　　要：综述了 TCO(透明导电氧化物 )薄膜研究开发的历史与现状 ,展望了产业化前景。传统的 ITO薄膜性能优异 ,是重要的平面显示器件用材料。新型 Zn O薄膜成本低廉 ,极具发展潜力 ,有望在太阳能电池领域取代 ITO(掺锡氧化铟 )。多元复合氧化物薄膜是 TCO的发展方向之一 ;柔性衬底的应用扩大了 TCO薄膜的用途 ;溶胶 -凝胶制备工艺的开发促进了大面积

关 键 词：透明导电氧化物 薄膜 产业化 

分 类 号：TN304.21[电子电信—物理电子学]