原子探针的研制  

Development of Atom Probe

作　　者：刘永昌[1] 李士丽[1] 陈之和 傅锟明 肖桂里 

机构地区：[1]中国科学院科学仪器厂

出　　处：《质谱学报》1990年第1期22-27,共6页Journal of Chinese Mass Spectrometry Society

摘　　要：本文叙述直线型原子探针的设计和制造技术,其质量分辨本领M/△M≈300,探测效率约50%。文中还讨论了提高质量分辨本领的方法。In this paper, the development of Linear-type Time-of-Flight Atom Probe has been described. The resolution M/△M is about 300, and the detect efficiency is about 50%. We also discuss how the mass resolution can be further improved.

关 键 词：原子探针 研制 直线型 探针 

分 类 号：TG115.281[金属学及工艺—物理冶金]