基于碳纳米管的微纳机电器件应用研究  

Application research of carbon nanotube-based micro/nano electromechanical devices

作　　者：张冬至[1] 夏伯锴[1] 王凯[1] 童俊[1] 

机构地区：[1]中国石油大学(华东)信息与控制工程学院,山东青岛266555

出　　处：《电子元件与材料》2012年第3期71-76,共6页Electronic Components And Materials

基　　金：中央高校基本科研业务费专项资金资助(No.12CX04065A);国家级和校级大学生创新训练计划基金资助(No.111042538;No.20111084)

摘　　要：综述了近年来碳纳米管在微纳传感器、纳米发电机、纳米执行器、纳米电子器件、纳米收音机与薄膜扬声器等方面取得的瞩目成果及典型应用,介绍了基于碳纳米管的微纳机电器件的制造工艺、器件性能及其研究进展,指出了碳纳米管基微纳机电器件在多元化发展、工艺多样化、材料复合化、产业化工程等方面的发展趋势。The remarkable achievements and typical applications of carbon nanotube （CNT） used in recent years for fabricating micro/nano sensors, nano-generators, nano-actuators, nano-electronic devices, nano radios and film speakers are reviewed, and the fabrication process, devices performance and lastest progress of CNT-based micro/nano electro- mechanical devices （M/NEMDs） are introduced. The future trends in development of all-direction, diversification of fabrication, composition of material and industrialization of engineering for CNT-based M/NEMDs are illustrated.

关 键 词：碳纳米管 微纳器件 综述 微纳传感器 制造工艺 纳米制造 

分 类 号：TN304[电子电信—物理电子学]