一种补偿扩散硅压力传感器零点温漂的电阻网络  

A Resistor Network for Compensating Thermal Zero Drift of a Silicon Pressure Transducer

作　　者：戎华[1] 李俊峰[1] 张声良 

机构地区：[1]西安交通大学电信学院微电子工程系,西安710049

出　　处：《仪器仪表学报》2000年第1期70-72,共3页Chinese Journal of Scientific Instrument

摘　　要：本文从恒压源和恒流源两种不同的供电方式出发 ,推导出了两套扩散硅压力传感器零点及零点温漂串、并联补偿电阻阻值的公式 ,运用这两套公式 ,只需测量流过电桥的电流、桥压以及零点输出 ,而无需测量桥臂电阻就可计算出补偿电阻的大小 。In this paper,we deduce two pair equations which are used to calculate two compensating resistors for zero point output and thermal zero drift of a silicon pressure transducer.Only current,voltage and zero point output of a Wheatstone Bridge are necessary if you use one of the two pair equations to calculate the two resistors,Values for the four arm resistors are not required.The compensating methods are very convenient in practice,and especially apply to mass production.

关 键 词：压力传感器 零点温漂 电阻网络 扩散硅 

分 类 号：TH823.2[机械工程—仪器科学与技术] TP212[机械工程—精密仪器及机械]