提高MEMS检波器技术指标的研究  

Study on Improving Technological Index of MEMS Geophone

作　　者：杨仲华 王书军 陈海波[3] 王义江 唐晓刚 牛德芳 

机构地区：[1]威海双丰电子集团,山东威海264209 [2]山东省煤田地质局物探测量队,山东泰安271021 [3]威海职业学院,山东威海264210

出　　处：《仪表技术与传感器》2012年第2期12-14,共3页Instrument Technique and Sensor

基　　金：国家863项目(2008AA042201)

摘　　要：通过对石油勘探领域应用的电容式MEMS加速度检波器的研究,重点提出提高MEMS检波器的动态、静态、稳定性指标的方法及理论根据,并通过试验进一步证明方法的正确性及可行性。Through the study of the capacitive sensing MEMS acceleration geophone in the application area of the national ＂ Tenth Five-Year＂ project 863 oil exploration project, the paper focused on increasing the method and the theory evidence of the dynamic, static state and stability index of MEMS geophone. And the further tests prove the accuracy and feasibility of the method.

关 键 词：检波器 动态 静态 稳定性 指标 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]