径向剪切干涉仪系统的研制与校准研究  

Development and Calibration of a Radial-Shearing Interferometer

作　　者：赵琦[1] 蒋泽伟[1] 何勇[2] 卢峰[3] 

机构地区：[1]西南技术物理研究所,四川成都610041 [2]南京理工大学电光学院,江苏南京210094 [3]四川大学电子信息学院,四川成都610064

出　　处：《激光与光电子学进展》2012年第4期85-89,共5页Laser & Optoelectronics Progress

摘　　要：为了测量超长焦距高功率激光系统的波前畸变,研制并校准了基于空间相位调制的径向剪切干涉仪。仪器采用多波长设计,满足可见光和红外探测的需要。为研制并校准径向干涉仪,同哈特曼-夏克(HS)传感器、Zygo干涉仪进行了对比实验。通过实验与理论对比,得到径向剪切干涉仪参数的最佳值。研究了汉宁窗的取值范围和边缘截取值的合理范围,结果表明,校准后的径向剪切干涉仪能够准确测量,仪器的重复性和精度都能满足高精度波前探测要求。To measure the wavefront of high-power laser with ultra-long focal length,we develop and calibrate a shearing interferometer based on spatial phase modulation.It is experimentally compared with Hartmann-Shack（HS） wavefront sensor and Zygo interferometer.The results show that the shearing interferometer can meet the requirements of precisely measuring wavefront.It has high precision and good repetitiveness.

关 键 词：光学测量 径向剪切干涉仪 实验研究 校准 

分 类 号：O436[机械工程—光学工程]