超高压汞灯功率控制研究  

The Power Control System of Constant Power Super-high Pressure Mercury Lamp

作　　者：刘卫平[1] 葛劢冲[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176

出　　处：《电子工业专用设备》2012年第4期40-42,共3页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：介绍了一种光刻机超高压汞灯电源,采用模拟功率反馈控制,有效提高了光源稳定性;重点阐述了恒功率控制的原理和主要电路结构。A super-high pressure mercury lamp power of mask aligner is introduced in this paper,using analogue power feedback control,effectively improving power stability.The principle and major circuit structure of constant power control are emphatically expounded in this paper.

关 键 词：超高压汞灯 恒功率控制 模拟乘法器 传感器 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]