硅微传感器的热挠曲及谐振频率的计算  

Analysis and Calculation on Thermally Excited Deflection and Resonant Frequency of Micromachinced Silicon Resonant Sensors

作　　者：刘月明[1] 刘君华[1] 张少君[2] 

机构地区：[1]西安交通大学电气工程学院,西安710049 [2]西安理工大学,西安710048

出　　处：《半导体光电》2000年第2期132-134,共3页Semiconductor Optoelectronics

基　　金：国家自然科学基金资助项目! (6 9776 0 37);陕西省自然科学研究资助项目!(97C12 )

摘　　要：分析了硅微机械谐振式传感器在热激励下的挠曲及谐振频率变化 ,建立了相应的数学模型 ,并对热挠曲灵敏度进行了优化设计。同时通过算例和测试数据的对比 ,验证了谐振频率计算模型的正确性。Analysis is made on thermally excited deflection and resonant frequency of the micromachined silicon resonant sensors .Based on the theoretical model , the design is optimized for the deflection and the model of the resonant frequency is demonstrated by the experimental results.

关 键 词：硅微机谐振传感器 热挠曲 谐振频率 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]