Y60A单晶炉的电气控制系统  

作　　者：梁秀梅[1] 张冰毅[1] 董淑梅[1] 

机构地区：[1]西安理工大学晶体生长设备研究所,西安710048

出　　处：《电子工业专用设备》2000年第1期39-41,共3页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：介绍了Y6 0A型单晶炉电气控制系统设计思路及工作原理 ,试验数据表明其提拉速度精度、控温精度、控温均匀度等技术指标的先进性。

关 键 词：单晶炉 控温精度 提拉速度精度 电气控制系统 

分 类 号：TF806.9[冶金工程—有色金属冶金]