一种优化的微测热辐射计热学参数性能测试分析方法  

An improved test and analyze method for microbolometer thermal performances

作　　者：刘子骥[1] 吕坚[1] 郑兴[1] 蒋亚东[1] 王涛[1] 

机构地区：[1]电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都610054

出　　处：《红外与毫米波学报》2012年第2期183-187,共5页Journal of Infrared and Millimeter Waves

基　　金：国家自然科学基金(608206021)~~

摘　　要：优化的微测热辐射计热学参数的测试方法,与传统测试方法相比,能够实现热导和响应时间的精确测量,克服热学参数评估依赖仿真的缺陷,且该方法易于实现,工程应用性强.通过对研制的微测热辐射计性能进行相应的测试,确定了该测试方法准确、可靠.An improved test method was introduced.Compared with the traditional one,it could be more precision and impersonal.Nevertheless it is easy to implement and anti-influence of fabricated process.Through the test process with the microbolometers fabricated,this test method is reliable and precision.

关 键 词：微测热辐射计 测试 热导 热容 

分 类 号：TN216[电子电信—物理电子学]