微斑光电流谱和光反射谱的自动测量系统  

Automatic Measurement of Microspot Photocurrent and Reflection Spectra

作　　者：张培宁[1] 张世林[1] 郭维廉[1] 林世鸣[2] 陈弘达[2] 

机构地区：[1]天津大学电子信息工程学院,天津300072 [2]中国科学院半导体所,北京100083

出　　处：《半导体光电》2000年第1期69-70,共2页Semiconductor Optoelectronics

基　　金：中科院开放实验室资金

摘　　要：叙述了为测量半导体光电器件的光电流谱和光反射谱所构成的自动测量系统及其数据处理方法。The automatic measurement system and the data processing method are discussed for microspot photocurrent spectrum and reflection spectrum of semiconductor optoelectronic devices.

关 键 词：光电流谱 光反射谱 自动测量系统 微斑 

分 类 号：TN307[电子电信—物理电子学]