Manz发布业界产出量最快的湿制程设备加快cSi生产制程整合  

出　　处：《电子工业专用设备》2012年第5期61-62,共2页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：高科技产业整合解决方案供应商Manz将参展SNEC2012第六届国际太阳能产业及光伏工程（上海）展览会暨论坛（展位：E3馆，310），届时将展示其最新的晶体硅太阳能电池湿制程设备：IPSGCEI4800。该设备主要用于去除晶片背部及边缘的高掺杂层，进而产生化学边缘隔离（CEI），还能去除之前扩散过程中在晶片正面生成的磷硅玻璃（PSG）。

关 键 词：制程设备 产业整合 CSI 产出量 晶体硅太阳能电池 生产 太阳能产业 扩散过程 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]