华润上华600V和1700V lGBT工艺平台开发成功  

出　　处：《中国集成电路》2012年第6期3-3,共1页China lntegrated Circuit

摘　　要：华润微电子有限公司旗下的华润上华科技有限公司（后简称“华润上华”）宣布已开发完成600V和1700VPlanarNPTIGBT（平面非穿通型绝缘栅双极晶体管）以及600VTrenchPTIGBT（沟槽穿通型绝缘栅双极晶体管）工艺平台，各项参数均达到设计要求，并顺利通过可靠性考核。

关 键 词：平台开发 LGBT 工艺 绝缘栅双极晶体管 非穿通型 可靠性考核 微电子 

分 类 号：TN386.1[电子电信—物理电子学]