直接转换X光数字传感器的高占空比TFT阵列  

High-Aperture TFT Array for Direct-ConversionX-Ray Digital Sensor

作　　者：邓波儿 仲正中 顾铁儿 

机构地区：[1]美国Planar系统公司 [2]苹果计算机公司 [3]GE医疗器械公司

出　　处：《现代显示》2000年第1期32-37,共6页Advanced Display

摘　　要：本文介绍一种用于直接转换X光传感器的、尺寸为14in×8.5in、象素数为1536×2560的TFT阵列的制造及工作原理。讨论了高占空比AMLCD中的TFT矩阵在工艺及设计方面的类似性,它采用了一种低κ值的互连-隔离(inter-level)绝缘层以改善其特性。The fabrication and operation of a 14in×8.5in TFT array for Direct Conversion X_ray sensors with 1536 by 2560 pixels is described. Similarities in process and design are discussed with TFT arrays for high aperture AMLCDs, that also use a low k inter_level dielectric to improve performance.

关 键 词：X光传感器 TFT阵列 数字传感器 薄膜晶体管 

分 类 号：TN321.5[电子电信—物理电子学] TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]