新型霍尔硅集成传感器  

作　　者：C.Schott F.Burger H.Blanchard L.Chiesi 张健 

机构地区：[1]新疆工业高等专科学校机电系

出　　处：《传感器世界》2000年第3期10-13,共4页Sensor World

摘　　要：本文概述了硅霍尔传感器的进展,介绍了采用微电子技术的制造工艺和高精度矢量磁探头的研制,以及已被验证的采用磁断续器增强检测灵敏度的新结构器件,并以角位移传感器和电流传感器为例介绍了其最新应用。

关 键 词：传感器 硅集成芯片 霍尔器件 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN382[自动化与计算机技术—控制科学与工程]