工业变送器用75系列扩散硅压力传感器  

Series 75 Diffused-silicon Sensors Applied In the Industrial Transmitter

作　　者：李妍君[1] 李颖[1] 吴丁民 

机构地区：[1]沈阳仪器仪表工艺研究所,沈阳市110043

出　　处：《仪表技术与传感器》2000年第2期4-6,9,共4页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：介绍了工业变送器用 75系列扩散硅压力传感器。其整体结构为全固态结构 ;其硅膜片结构分别为C型、E型和EI型三种形式 ;测量范围为 0 6kPa～ 5 0MPa;使用温区为 - 3 0～ +80℃ ;全量程。This paper introduces the series 75 diffused-silicon sensors applied in the industrial transmitter.Their structures are all-solid-state,and diaphragms are C-type、E-type and EI-type separately.The measuring range of the sensor is 0 6kPa～50MPa and temperature range is -30～+80℃.It meets the requirements for the industrial transmitter in full span and full series.

关 键 词：工业 变送器 传感器 扩散硅 压力传感器 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH823.203[自动化与计算机技术—控制科学与工程]