基于新型光栅传感器的微位移测量  

Measurement of micro-displacement based on new type of grating sensor

作　　者：杨春振[1] 白立新[1] 

机构地区：[1]四川大学物理科学与技术学院,四川成都610064

出　　处：《传感器与微系统》2012年第7期123-125,共3页Transducer and Microsystem Technologies

基　　金：四川大学"大学生创新性实验计划"资助项目

摘　　要：实验将新型光栅传感器应用于微位移测量之中。通过比较线(角)位移与莫尔条纹移动个数之间的关系,实验发现,在微位移测量中光栅传感器具有极好的线性度(R2≥0.999)和精确度(误差≤2.0%)。实验验证了光栅传感器在微位移测量中可行性和可靠性。A new type of grating sensor are applied in measurement of micro-displacement in this experiment. By comparing the relation between linear （ or angular） displacement and the movement nmnber of Moir6 fringes, the experiment shows that grating sensors have advantages of good linearity （ R^2≥0. 999 ） and accuracy （ error ≤ 2.0 % ） in the measurement of micro-displacement. The feasibility and reliability of grating sensors are verified.

关 键 词：光栅传感器 莫尔条纹 线位移 角位移 线性度 精确度 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]