超净气体输送管道系统的洁净管理  

作　　者：李国钰[1] 吕希洲[1] 

机构地区：[1]中国电子工程设计院

出　　处：《中国工程咨询》2012年第7期59-60,共2页China Engineering Consultants

摘　　要：一．引言 超净的气体输送管道系统，是指具有超净化要求的输送高纯气体、掺杂气体的管道系统，广泛应用于集成电路器件生产、太阳能光伏电池生产、PDF显示器面板生产等微电子领域，该系统输送的气体主要有高纯大宗气体（高纯氧、高纯氩、高纯氦、高纯氢等气体）、特气（硅烷、磷烷、砷烷、氯化氢、氯气等工艺气体），以上气体在下文中简称“超净气体”。

关 键 词：气体输送 管道系统 超净化 管理 洁净 高纯气体 集成电路器件 电池生产 

分 类 号：U173[交通运输工程]