电场力显微镜不同探针对表面电荷注入的影响  

Study the surface charge by electrostatic force microscope with different coating tip

作　　者：孙志[1,2,3] 韩柏[1,2,3] 李振凯[1,2,3] 王暄[1,2,3] 雷清泉[1,2,3] 

机构地区：[1]哈尔滨理工大学电气与电子工程学院,黑龙江哈尔滨150080 [2]哈尔滨理工大学工程电介质及其应用教育部重点实验室,黑龙江哈尔滨150080 [3]哈尔滨理工大学黑龙江省电介质工程国家重点实验室培育基地,黑龙江哈尔滨150080

出　　处：《电子显微学报》2012年第3期217-220,共4页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基　　金：国家重点基础研究发展(973)计划(2009CB724505);国家自然科学基金资助项目(No.50977020)

摘　　要：在电场力显微镜(EFM)下利用不同金属镀层微探针,在微纳米尺度下对聚酰亚胺薄膜的表面电荷生成特性进行研究。采用电场力显微镜导电探针在聚酰亚胺薄膜表面注入电荷,并对微纳米区域产生的电荷进行表征,结果表明不同金属镀层的微探针对聚酰亚胺薄膜上电荷注入效果不同。铂铱合金镀层具有比钴铬合金镀层更高的功函数fm,因此前者在金属-电介质接触中产生更大肖特基势垒,进而降低了电荷的注入程度。该研究为微纳米尺度下探索聚合物绝缘材料表面电荷生成、发展机理提供了一个新的研究方法和途径。Electrostatic force microscope （EFM） was applied to study the properties of surface charge on Polyimide films in micro- nanometer scale. The surface charge was generated by injecting on the surfaces of the polyimide （PI） films using the conductive probe of with different coating. After that the surface charge was characterized by EFM. The result indicates that it is difficult to inject charge with Pt/Ir coating tip for larger work function than Co/Cr coating because of Schottky effect between metal and dielectric. The research provides a new way for study on the rule and mechanism of surface charge on the insulated films.

关 键 词：电场力显微镜 表面电荷 功函数 肖特基效应 

分 类 号：O484.4[理学—固体物理]