Sol-Gel法制备SnO_2纳米晶薄膜  

Preparation of Nanocrystalline SnO_2 thin Film by Sol-Gel Method

作　　者：向思清[1] 索辉[1] 阮圣平[1] 朱玉梅[1] 刘冰冰[1] 全宝富[1] 徐宝琨[1] 

机构地区：[1]吉林大学电子工程系,吉林长春130023

出　　处：《功能材料》2000年第B05期72-73,共2页Journal of Functional Materials

基　　金：国家自然科学基金!资助项目 ( 69774 0 2 7)

摘　　要：以Sn(OH) 4 水合胶体为原料 ,采用简单的旋转涂覆与烧结工艺在Si片上成功制备出了表面形貌平整、光亮的SnO2 纳米晶薄膜 ,为该种材料制作实用的气敏元件打下了很好的基础。Nanocrystalline SnO 2 thin films were successfully prepared on Si substrate by sol-gel technique based on Sn(OH) 4 colloid.AFM plots show that their morphologies are flat and bright.The work make it possible to prepare practical gas sensor made of this material.

关 键 词：SOL-GEL法 纳米晶薄膜 SNO2 制备 

分 类 号：TN304.21[电子电信—物理电子学]