EDWARDS尖端尾气处理技术新突破  

作　　者：隽科 

出　　处：《塑料制造》2012年第7期20-20,共1页Plastics Manufacture

摘　　要：全球领先的真空设备、尾气处理设备和相应服务的供应商Edwards公司宣布达到具有重大意义的里程碑——自20年前进入市场以来,公司销售的尾气处理系统超过了10,000台。虽然大多数尾气处理系统销售予半导体行业的客户,但在平板显示市场,以及太阳能和化合物半导体等新兴市场中,

关 键 词：尾气处理技术 尾气处理系统 尾气处理设备 化合物半导体 半导体行业 真空设备 平板显示 市场 

分 类 号：TQ125.116[化学工程—无机化工]