原子级加工技术的研究  

Researches on Technology of Atomic Nanofabrication

作　　者：郑炜[1] 刘晋春[2] 

机构地区：[1]厦门大学物理与机电工程学院,福建厦门361005 [2]哈尔滨工业大学特种加工及机电控制研究所,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《电加工与模具》2012年第4期45-48,共4页Electromachining & Mould

摘　　要：分析了扫描隧道显微镜的两种工作模式,即"恒高度模式"和"恒电流模式",并以扫描探针显微镜在实际加工中的成功应用为例,说明原子级加工技术在理论和实践上是可行的。Two kinds of operation mode of scanning tunneling microscope （STM） are analyzed, i. e. , constant-height mode and constant - current mode for STM. Successful applications of practical nanofabrication for scanning probe microscope are taken for examples, show that it is feasible for nano- fabrication technology in both theory and practice.

关 键 词：原子级加工 特种加工 纳米技术 

分 类 号：TG66[金属学及工艺—金属切削加工及机床]